膜形成用組成物、その製造方法および層間絶縁膜用材料

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-158673
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256621
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【目的】半導体素子等における層間絶縁膜として適当な、均一な厚さを有する塗膜が形成可能な、しかも誘電率特性等に優れた膜形成用組成物を得る。【構成】 (A)下記一般式(1)で表される化合物の加水分解物および/またはその部分縮合物、R1nSi(OR2)4-n (1)(R1およびR2 は、同一でも異なっていても良く、それぞれ炭素数1〜5のアルキル基または炭素数6〜20のアリール基を示し、nは0〜2の整数を表す。)(B)下記一般式(2)で表される金属キレート化合物、R3tM(OR4)s-t (2)(R3 はキレート剤、M金属原子、R4 は炭素数2〜5のアルキル基または炭素数6〜20のアリール基を示し、sはMの原子価、tは1〜sの整数を表す。)(C)プロピレングリコールモノアルキルエーテルおよび(D)β-ジケトンを含むことを特徴とする膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される化合物の加水分解物および/またはその部分縮合物、R1nSi(OR2)4-n (1)(R1およびR2 は、同一でも異なっていても良く、それぞれ炭素数1〜5のアルキル基または炭素数6〜20のアリール基を示し、nは0〜2の整数を表す。)(B)下記一般式(2)で表される金属キレート化合物、R3tM(OR4)s-t (2)(R3 はキレート剤、M金属原子、R4 は炭素数2〜5のアルキル基または炭素数6〜20のアリール基を示し、sはMの原子価、tは1〜sの整数を表す。)(C)プロピレングリコールモノアルキルエーテルおよび(D)β-ジケトンを含むことを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (12件)：

C09D183/04 , C08K 5/06 , C08K 5/07 , C08K 5/56 , C08L 83/04 , C09D 5/25 , C09D 7/12 , H01L 21/312 , H01L 21/316 , H05K 1/03 610 , H05K 1/03 , H05K 3/46

FI (12件)：

C09D183/04 , C08K 5/06 , C08K 5/07 , C08K 5/56 , C08L 83/04 , C09D 5/25 , C09D 7/12 Z , H01L 21/312 C , H01L 21/316 G , H05K 1/03 610 H , H05K 1/03 610 S , H05K 3/46 T

Fターム (35件)：

4J002CP031 , 4J002EC076 , 4J002EE047 , 4J002GQ05 , 4J038DL021 , 4J038DL031 , 4J038JA23 , 4J038JA26 , 4J038JA34 , 4J038JC32 , 4J038JC38 , 4J038NA21 , 4J038PB09 , 5E346AA02 , 5E346AA12 , 5E346CC08 , 5E346DD03 , 5E346HH01 , 5E346HH11 , 5E346HH13 , 5F058AA03 , 5F058AA10 , 5F058AC03 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH02 , 5F058BA06 , 5F058BA20 , 5F058BC02 , 5F058BC05 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ01 , 5F058BJ02

引用特許：

審査官引用 (7件)

コーティング用組成物の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245333 出願人：東レ株式会社
カラーフィルタ保護膜形成用塗液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-127664 出願人：東レ株式会社
特開昭64-026639

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