クリーン蒸気の製造方法及び製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226609
公開番号（公開出願番号）：特開平5-044901
出願日： 1991年08月11日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】精密部品の洗浄等に利用することができる純度の高い、結露を生じない蒸気を得ること。【構成】蒸気ヘッダ部(13)内にセパレータ手段(40)を内蔵してなる蒸気発生器(10)と、この蒸気発生器(10)から取り出した飽和蒸気を更に加熱して所望温度の過熱蒸気とするための蒸気加熱器(20)とを組み合せた構成。

請求項（抜粋）：

純水を使用し、これを給水ヘッダ部(10)、熱交換部(12)及び蒸気ヘッダ部(13)からなる蒸気発生器(10)を通し、蒸気加熱器(20)を介して過熱蒸気とする操作と、少なくとも前記蒸気ヘッダ部(13)中に設けたセパレータ手段(40)により液滴分を取り除く操作とを含み、かつ少なくとも前記蒸気加熱器(20)及びそれよりも下流側のライン(4) を過熱蒸気の供給点と実質上同圧に制御することにより過熱蒸気の温度降下を抑制することを特徴とするクリーン蒸気の製造方法。

IPC (3件)：

F22B 1/16 , F22B 37/26 , F22G 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-038801
特開昭58-013901

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