特許
J-GLOBAL ID：200903029083003840
セラミックスヒーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-283332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135068
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】セラミックスヒーターを、加熱-冷却のサイクルに繰り返し供し、長期間使用した場合に、抵抗発熱体の抵抗値が上昇したり、抵抗発熱体が断線したりするのを、防止することである。【構成】セラミックスヒーターは、セラミックスからなる基材1と、基材1内に埋設された抵抗発熱体10とを有する。抵抗発熱体10が、高融点金属からなる本体2と、本体2を被覆する被覆膜4とを有する。本体2の熱膨張係数よりも被覆膜4の熱膨張係数の方が大きい。被覆膜4の厚さが2μm以上である。好ましくは、被覆膜4が、TiN、Mo2 C、NbC、TiC、VC、ZrC、WC、TaC、TaN及びZrNからなる群より選ばれた材料によって形成されており、高融点金属がタングステンであり、特に好ましくは被覆膜4がTiNによって形成されている。
請求項（抜粋）：
セラミックスからなる基材と、この基材内に埋設された抵抗発熱体とを有するセラミックスヒーターであって、前記抵抗発熱体が、高融点金属からなる本体と、この本体を被覆する被覆膜とを有し、前記基材の熱膨張係数よりも前記本体の熱膨張係数の方が大きく、前記本体の熱膨張係数よりも前記被覆膜の熱膨張係数の方が大きく、この被覆膜の厚さが2μm以上である、セラミックスヒーター。
IPC (2件)：
H05B 3/14
, H05B 3/20 356
