特許
J-GLOBAL ID：200903029085819422
スクラバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-261232
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【構成】 常圧CVD装置からの排気ガスを処理するスクラバにおいて、スクラバのシャワーノズルからアニオン系界面活性剤および/またはノニオン系界面活性剤含有洗浄水を噴霧する。【効果】 排気ガス中に含まれている未反応TEOSなどの非加水分解性の難溶性材料を溶解処理することができる。従来のスクラバで、これら未反応TEOSの処理に使用されてきた活性炭フィルタからなるフィルタユニットの使用が不要になる。
請求項（抜粋）：
常圧CVD装置の反応炉からの排気ガスを処理するためのスクラバであって、シャワーノズルから、アニオン系界面活性剤および/またはノニオン系界面活性剤含有洗浄水を噴霧することを特徴とするスクラバ。
IPC (3件)：
B01D 47/06
, B01D 53/18
, B01D 53/34 120
