光導波路結合構造、光導波路及びその製造方法、並びに光導波路付き光素子部品及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366411
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169042
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】高精度の位置合わせを不要にして光導波路結合構造を実現する。【解決手段】開示されている光導波路結合構造10は、光素子チップ9上に配置されて端部にそのコア層2が例えば略6度の緩い角度θで斜めに露出するように形成された第1の断面15及びこの第1の断面15から所定距離離れた位置に第1の断面15に対して略垂直方向に形成された第2の断面16を有する第1の光導波路1と、ベース基板21上に配置されて端部にそのコア層22が例えば略6度の緩い角度θで斜めに露出するように形成された第1の断面29及びこの第1の断面29から所定距離離れた位置に第1の断面29に対して略垂直方向に形成された第2の断面30を有する第2の光導波路1とが、上記第1の断面15、29同士を及び上記第2の断面16、30同士を位置合わせすることにより結合されている。

請求項（抜粋）：

第1の光導波路と第2の光導波路とが光結合されてなる光導波路結合構造であって、光素子チップ上に配置されて端部にそのコア層が緩い角度で斜めに露出するように形成された第1の断面及び該第1の断面から所定距離離れた位置に該第1の断面に対して略垂直方向に形成された第2の断面を有する第1の光導波路と、ベース基板上に配置されて端部にそのコア層が緩い角度で斜めに露出するように形成された第1の断面及び該第1の断面から所定距離離れた位置に該第1の断面に対して略垂直方向に形成された第2の断面を有する第2の光導波路とが、前記第1の断面同士を及び前記第2の断面同士を位置合わせすることにより結合されていることを特徴とする光導波路結合構造。

IPC (4件)：

G02B 6/122 , G02B 6/13 , H01L 31/0232 , H01L 33/00

FI (4件)：

H01L 33/00 M , G02B 6/12 B , G02B 6/12 M , H01L 31/02 C

Fターム (13件)：

2H047KA04 , 2H047KB03 , 2H047KB04 , 2H047KB09 , 2H047LA09 , 2H047MA07 , 2H047PA02 , 2H047PA24 , 2H047PA28 , 2H047QA05 , 5F041EE01 , 5F041EE25 , 5F088JA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-180004
特開昭64-004705

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