特許

J-GLOBAL ID：200903029103211178

真空ロードロック機構

発明者： 小笠原 宗博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087092
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279792
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】 試料に粒子を付着させることなく試料を真空と大気間とを移動させるロードロック機構を提供する。【解決手段】 フィルター14,15を通る気流の向きを大気化時と真空排気時とで同じ方向にする。

請求項（抜粋）：

試料を気密に仕切られた空間の間を移動させる為のロードロック機構であって、試料を囲む空間の少なくとも二個所に通気性がある塵埃を透過させない為のフィルターA,Bが該空間でほぼ対向する様に設けてあり、該空間の排気はフィルターA側から行い、ガス導入はフィルターB側から行う様にしてあることを特徴とする真空ロードロック機構。

IPC (3件)：

B01J 3/02 ,  F04B 37/16 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B01J 3/02 J ,  F04B 37/16 Z ,  H01L 21/30 541 L

Fターム (5件)：

3H076AA21 ,  3H076BB13 ,  3H076CC51 ,  5F056EA12 ,  5F056EA16