特許

J-GLOBAL ID：200903029107660899

鉛直免震装置および該装置を備えた三次元免震装置

発明者： 伊藤 智博 ,  藤田 勝久
出願人/特許権者： 財団法人大阪産業振興機構
代理人 (3件)： 青山 葆 ,  河宮 治 ,  山田 卓二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-249075
公開番号（公開出願番号）：特開2004-084875
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】鉛直方向の固有振動数を小さく設定可能な鉛直免震機構を提供する。【解決手段】鉛直免震機構14は、下プレート6と、下プレートの上方に配置される上プレート12との間に配置される。上プレート12の運動は、ラック16/ピニオン24を介して、連結軸28および該軸に取り付けたウォームギア34の回転運動に変換され、ウォームホイール38に伝達する。ウォームホイールを固定するホイール軸42の一端は下プレートに固定されており、ウォームホイールが回転する際に、ねじり力をウォームホイールに作用させる。上テーブルの上下運動は、減速比の大きなウォームギア・ホイールを介してホイール軸に伝達するため、上テーブルが大きく変位しても該軸のねじり角が非常に小さい。すなわち、上テーブルが大きく変位しても、上テーブルが受ける反力を小さくでき、鉛直免震機構の上下方向のばね定数を極めて小さくできる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基台部と該基台部の上方に配置される被免震体との間に配置され、被免震体の鉛直方向の振動を絶縁するための鉛直免震装置において、 被免震体の鉛直方向の運動を減速する減速ギア機構を有する鉛直免震装置。

IPC (4件)：

F16F15/06 ,  E04H9/02 ,  F16F15/023 ,  F16F15/04

FI (6件)：

F16F15/06 A ,  E04H9/02 331Z ,  F16F15/023 A ,  F16F15/04 B ,  F16F15/04 D ,  F16F15/04 P

Fターム (14件)：

3J048AA02 ,  3J048AB01 ,  3J048AC01 ,  3J048AC04 ,  3J048BA08 ,  3J048BA18 ,  3J048BC07 ,  3J048BE04 ,  3J048BE12 ,  3J048BG10 ,  3J048CB21 ,  3J048CB27 ,  3J048DA01 ,  3J048EA38