特許

J-GLOBAL ID：200903029107876123

高流速における超高純度気体のバルク輸送

発明者： ジャン - マリー・フリート
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-037969
公開番号（公開出願番号）：特開平10-043575
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高気体流速における超高純度ESG の気体分配の問題を解決する方法およびシステムを提供する。【解決手段】 圧縮液化気体容器2、前記圧縮液化気体容器2内の内部熱交換機12、前記容器2から供給を入手し、ESG 8をプロセスに輸送するところの気体供給導管18、および前記容器2の導管18下流付近であるが、前記プロセスの上流に有効に配置される外部熱交換器30を具備するシステム。

請求項（抜粋）：

液体の形態から超高純度気体の輸送をするためのシステムにおいて、前記気体が高流速又は高く変化する流速において供給され、前記システムが、圧縮液化気体容器と、前記圧縮液化気体容器内の内部熱交換器と、前記容器からの供給を運搬する気体供給導管と、前記容器と気体供給導管との近辺に配置される外部熱交換器とを具備し、並びに同伴される液滴が前記導管内に入ることおよび前記導管内に生成することが前記内部熱交換器および外部熱交換器により防止されるシステム。

IPC (4件)：

B01J 4/00 102 ,  F17D 1/02 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

B01J 4/00 102 ,  F17D 1/02 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205