特許
J-GLOBAL ID：200903029108172006
薬液噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054077
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263395
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 洗浄薬液の成分の結晶に起因するパーティクルが発生しない薬液噴射装置を得ること。【構成】 洗浄薬液Lの供給源である洗浄薬液供給部20とこれに接続した洗浄供給ノズル31との間に純水を供給する純水供給源40を三方弁26を介して接続し、ウエハ2の表裏両面を洗浄薬液供給装置20からの洗浄薬液Lで洗浄した後、三方弁26を切り換えて洗浄薬液供給ノズル31に純水供給源40を接続し、この純水供給源40からの純水を洗浄薬液供給ノズル31に供給するようにし、洗浄薬液供給ノズル31に滞留している洗浄薬液Lを排出するように構成した薬液噴射装置10Aである。
請求項（抜粋）：
洗浄薬液の供給源である洗浄薬液供給部とこれに接続された洗浄薬液供給ノズルとの間に純水を供給する純水供給源を切替え装置を介して接続し、平面状基板の表面を前記洗浄薬液供給部からの洗浄薬液で洗浄した後、前記切替え装置を作動させて前記洗浄薬液供給ノズルに前記純水供給源を接続し、この純水供給源からの純水を前記洗浄薬液供給ノズルに供給して、洗浄薬液供給ノズルに滞留している洗浄薬液を排出するように構成したことを特徴とする薬液噴射装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B05B 15/00
, B08B 9/06
