特許
J-GLOBAL ID：200903029117881044
基板搬送装置およびそれを適用した基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246819
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087461
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 上下方向に移動しても装置内の空間のエアの流れを乱すことのない基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 搬送アーム31a,31bを降下させる際には、カバー41a〜41dを順次に収納し、逆に、搬送アーム31a,31bを上昇させる際には収納した状態のカバー41a〜41dが順次に引き出される。これらのカバー41a〜41dは内部に設けられている伸縮昇降機構が、動作する際に発生する粉塵を搬送ロボットTR1の外部に出さないように気密部材で構成されており、これにより基板に発生するパーティクルを低減することができる。そして、カバー41aの上面には、空間内に形成されているクリーンエアのダウンフローの流れを妨げることなくカバー内部へと導くために開口部71が複数設けられており、エアの流れの乱れが生じることを防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
基板を保持して所定の位置に搬送する基板搬送装置であって、(a) 基板を保持して搬送する搬送アームと、(b) 鉛直方向に伸縮することにより前記搬送アームを昇降させる伸縮昇降機構と、(c) 前記伸縮昇降機構を覆う状態で配置されて前記伸縮昇降機構の伸縮動作に連動して伸縮するとともに、上面に開口部を有するカバーと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B25J 18/02
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25J 9/06 D
, B25J 18/02
, B65G 49/07 C
