特許

J-GLOBAL ID：200903029124993451

流量制御方法

発明者： 風間 洋一郎
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147723
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 流量制御方式を途中で切り替えることにより迅速且つオーバシュートのない流量制御を行うことができる流量制御方法を提供する。【解決手段】 流体を流す流体通路4に介設された流量制御弁10を流量制御部22から制御することにより前記流体の流量を制御する流量制御方法において、流量ゼロの状態から所定の流量設定値まで急激に流量を変化する際に、前記流量制御部は前記流体が流れ出し始める流れ出し駆動電圧よりも僅かな電圧値だけ少ない初期電圧値を小さい初期操作量として前記流量制御弁に出力し、その後、直ちに前記初期操作量を基準として速度型PID制御に移行する。このように、流量制御方式を途中で切り替えることにより、迅速に且つオーバシュートのない流量制御を行うことができる。

請求項（抜粋）：

流体を流す流体通路に介設された流量制御弁を流量制御部から制御することにより前記流体の流量を制御する流量制御方法において、流量ゼロの状態から所定の流量設定値まで急激に流量を変化する際に、前記流量制御部は前記流体が流れ出し始める流れ出し駆動電圧よりも僅かな電圧値だけ少ない初期電圧値を小さい初期操作量として前記流量制御弁に出力し、その後、直ちに前記初期操作量を基準として速度型PID制御に移行するようにしたことを特徴とする流量制御方法。

IPC (6件)：

G05D 7/06 ,  F16K 31/02 ,  G05B 7/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  F17D 3/01

FI (6件)：

G05D 7/06 Z ,  F16K 31/02 A ,  G05B 7/02 G ,  H01L 21/205 ,  F17D 3/01 ,  H01L 21/302 B