特許
J-GLOBAL ID：200903029130097751
被処理材の固定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310286
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167553
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】マスクブランクス等の薄板平面形状物の被処理材の平面度を損なうことなく保持でき、被処理材に対する処理精度の向上を可能とした被処理材の固定装置を提供する。【構成】マスクブランクス16の下面を多数のコイルバネからなる弾性支持点20...で受けると共に、マスクブランクス16の端部を重力方向には低剛性で水平面方向には高剛性な弾性保持部材24...で保持するように構成した。
請求項（抜粋）：
薄板平面形状物の被処理材を被処理材保持部材に固定する被処理材の固定装置であって、前記被処理材保持部材に設けられ、前記被処理材の下面を多数の弾性支持点で受け、前記被処理材の重力方向の位置決めを行った状態で支持する支持手段と、前記被処理材保持部材に設けられ、前記被処理材の端部を重力方向には低剛性で水平面方向には高剛性な弾性保持部材で連結保持する保持手段と、を具備してなることを特徴とする被処理材の固定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01L 21/68
, B23Q 3/06 301
