特許

J-GLOBAL ID：200903029132908722

マイクロ波導入窓材料

発明者： 寺尾 公一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-131907
公開番号（公開出願番号）：特開平6-345527
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【構成】 純度が99wt%以上で、GHz周波数域におけるFQ値が20000以上であり、かつ平均結晶粒径が1〜20μmのアルミナセラミックスから構成されているマイクロ波導入窓材料。【効果】 プラズマ処理装置に使用した際には、長寿命で耐久性に優れ、プラズマ処理装置の安定したプロセス性能を維持することができる。また、本発明のマイクロ波導入窓材料は、半導体のエッチング処理、アッシング処理又はCVD等、プラズマを利用した処理を行う種々の型のマイクロ波プラズマ処理装置のマイクロ波導入窓として使用することができる。

請求項（抜粋）：

純度が99wt%以上で、GHz周波数域におけるFQ値(周波数×Q値)が20000以上であり、かつ平均結晶粒径が1〜20μmのアルミナセラミックスから構成されていることを特徴とするマイクロ波導入窓材料。

IPC (4件)：

C04B 35/10 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-229777
  
• 特開昭60-016861
  
• 特開平1-213910