特許
J-GLOBAL ID：200903029133301643
蒸気乾燥装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342270
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169733
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 イソプロピルアルコール水溶液を使用することによって、高い乾燥能力および安全性を有する小型の蒸気乾燥装置を提供すること、および停電時にもイソプロピルアルコール蒸気が装置の外部に漏洩しないような安全性の高い小型の蒸気乾燥装置を提供する。【構成】 基板1を蒸気乾燥させるための液体4と、該液体を収容するための容器3と、該容器内の液体を加熱して気化させるための加熱手段とを備え、気化した液体が充満した領域において基板を蒸気乾燥する蒸気乾燥装置であって、前記液体は、イソプロピルアルコール水溶液4である。
請求項（抜粋）：
基板を蒸気乾燥させるための液体と、該液体を収容するための容器と、該容器内の液体を加熱して気化させるための加熱手段とを備え、気化した液体が充満した領域において基板を蒸気乾燥する蒸気乾燥装置において、前記液体は、イソプロピルアルコール水溶液であることを特徴とする蒸気乾燥装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, F26B 21/14
