特許
J-GLOBAL ID：200903029134441163
光導波路型回折格子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009729
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211923
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 屈折率分布を有する光導波路型回折格子を正確に製造することのできる方法を提供する。【解決手段】 光導波路10のコア部12に紫外線を照射して回折格子13を形成する方法において、コア部12は、その屈折率が紫外線照射によって増加し、かつ、照射量に対する屈折率の変加量が第1割合で増加し、所定量増加した後の変化量は、第1割合より小さい第2割合で増加するものであり、光導波路10の所定長さについて、コア部12の屈折率が第1割合で増加する領域の最大屈折率となるまで紫外線を照射し、軸方向に均一な屈折率変化領域を形成する第1工程と、屈折率変化領域の軸方向に紫外線干渉縞を照射して屈折率分布を有する回折格子を形成する第2工程とを有する方法である。
請求項（抜粋）：
光導波路のコア部に紫外線を照射して回折格子を製造する方法において、前記コア部は、その屈折率が紫外線照射によって増加し、かつ、照射量に対する屈折率の変化量が第1割合で増加し、所定量増加した後の変化量は前記第1割合より小さい第2割合で増加するガラス材料で形成され、前記光導波路の所定長さについて、前記コア部の屈折率が前記第1割合で増加する領域の最大屈折率となるまで紫外線を照射し、軸方向に均一な屈折率変化領域を形成する第1工程と、前記屈折率変化領域の軸方向に紫外線干渉縞を照射して軸方向に屈折率分布を有する回折格子を形成する第2工程とを有することを特徴とする光導波路型回折格子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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