特許

J-GLOBAL ID：200903029137811204

処理液供給装置

発明者： 林 豊秀 ,  岩見 優樹
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338235
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150008
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 脱気モジュールの液流路が破損した場合に、その異常を確実に検知して脱気モジュールにおける脱気能力の低下により引き起こされる不都合を回避でき、大量の処理液が脱気モジュールから脱気用配管を通って真空設備側へ流れ込むのを防止して設備にダメージを与えない装置を提供する。【解決手段】 脱気用配管10の途中に液溜め部12を介設し、その液溜め部内に貯留された処理液が所定量に達したことを検知する貯留量検知センサ32を設け、その検知信号に基づいて異常を報知する警報器36を設けた。

請求項（抜粋）：

処理液を送給する送液用配管と、この送液用配管の途中に介挿され、気体透過膜材によって形成され入口と出口とを連通させる液流路を有し、その液流路の周囲を真空チャンバで気密に密閉してなる脱気モジュールと、この脱気モジュールの前記真空チャンバ内の密閉空間を真空吸引源に接続する脱気用配管とを備えた処理液供給装置において、前記脱気用配管内に前記脱気モジュールの真空チャンバ内から処理液が流入したことを検知する検知手段を設けるとともに、その検知手段から出力される検知信号に基づいて前記脱気用配管内への処理液の流入を報知する報知手段を設けたことを特徴とする処理液供給装置。