特許

J-GLOBAL ID：200903029140782266

消泡剤及び消泡方法

発明者： 太田 勝啓 ,  斉藤 昭男 ,  伊藤 晴夫 ,  岡 齊
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095762
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310482
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、半導体の製造プロセスにおいて、基板上に付着して異物となることなく各種ゼータ電位制御剤の起泡を防止する技術を提案することにある。【構成】本発明は、溶液中にあるゼータ電位制御剤の泡を消すことができるできる物質を、該溶液中に添加することにより、基板上に付着して異物となることなく溶液中にある前記ゼータ電位制御剤の泡の発生を防止あるいは低減することにより達成される。

請求項（抜粋）：

溶液中に含有するゼータ電位制御剤(溶液中の基板と異物間の静電気反発力を大きくして基板への異物付着防止を行なう物質)から生じる泡を消すことのできる物質(消泡剤)を、該溶液中に10~7〜10~3mol/lの範囲の添加濃度で添加することを特徴とする消泡方法。