特許
J-GLOBAL ID：200903029144301637
アクティブ除振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-071590
公開番号（公開出願番号）：特開2002-276726
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 センサからの微弱な検出信号を減衰させることなく、高電圧や外来ノイズや電磁ノイズの影響が無く、障害物に左右されることなく、確実に制御部に伝達でき、且つ製作が容易で製作コストが低くできるアクティブ除振装置を提供すること。【解決手段】 除振台、該除振台を駆動する電磁アクチュエータ、該除振台の振動を検出する振動センサ12及び該除振台の変位を検出する変位センサ13を具備する除振機構10と、振動センサ12及び変位センサ13の検出信号を受信し、除振台の振動を除去する制御信号を生成し、該制御信号により電磁アクチュエータ11を駆動制御する除振制御部20を具備するアクティブ除振装置であって、除振機構10側に信号変換手段15を設け、該信号変換手段15は振動センサ12及び変位センサ13の検出信号を光信号に変換し、該変換した光信号を光ファイバー31を介して除振制御部20に送信する。
請求項（抜粋）：
除振台、該除振台を駆動する電磁アクチュエータ、該除振台の振動を検出する振動センサ及び該除振台の変位を検出する変位センサを具備する除振機構と、前記振動センサ及び変位センサの検出信号を受信し、前記除振台の振動を除去する制御信号を生成し、該制御信号により前記電磁アクチュエータを駆動制御する除振制御部を具備するアクティブ除振装置であって、前記除振機構側に信号変換手段を設け、該信号変換手段は前記振動センサ及び変位センサの検出信号を光信号に変換し、該変換した光信号を光ファイバーを介して除振制御部側に送信することを特徴とするアクティブ除振装置。
Fターム (6件)：
3J048AB08
, 3J048AD01
, 3J048BA08
, 3J048BE09
, 3J048DA01
, 3J048EA13
