特許

J-GLOBAL ID：200903029148684620

ポリヒドロキシスチレン誘導体を調製する方法

発明者： ▲ライ▼ 榮豊 ,  劉 亭君 ,  林 紫▲ギョク▼
出願人/特許権者： 財団法人工業技術研究院
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167574
公開番号（公開出願番号）：特開平10-338712
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 ポリヒドロキシスチレンをアルカリ性アルコール溶液に加えて形成した均質なポリヒドロキシスチレン溶液をエステルと反応させポリヒドロキシスチレン誘導体をうることからなるポリヒドロキシスチレン誘導体を調製する方法を提供する。【解決手段】 アルカリ性試薬とアルコールとを混合することによりえられるアルカリ性アルコール溶液にポリヒドロキシスチレンを加えて均質なポリヒドロキシスチレン溶液を形成する工程、および該ポリヒドロキシスチレン溶液を特定の式で示されるエステルと反応させてポリヒドロキシスチレン誘導体をうる工程からなるポリヒドロキシスチレン誘導体を調製する方法。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ性試薬とアルコールとを混合することによりえられるアルカリ性アルコール溶液に、ポリヒドロキシスチレンを加えて均質なポリヒドロキシスチレン溶液を形成する工程;および(b)該ポリヒドロキシスチレン溶液を式(I):【化1】(式中R1はF、Cl、Br、および【化2】(R3は炭素数1〜8の炭化水素基である)よりなる群から選ばれ、R2は炭素数1〜8の炭化水素基である)で示されるエステルと反応させてポリヒドロキシスチレン誘導体をうる工程からなるポリヒドロキシスチレン誘導体を調製する方法。

IPC (3件)：

C08F 8/14 ,  C08F 12/22 ,  G03F 7/039 601

FI (3件)：

C08F 8/14 ,  C08F 12/22 ,  G03F 7/039 601

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-191020   出願人：東京応化工業株式会社
• 特公昭57-000321