特許

J-GLOBAL ID：200903029153958380

加工物表面の座標測定方法

発明者： ラルフ ベルンハルト ,  ギュンター グルップ
出願人/特許権者： カール-ツアイス-スチフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-122856
公開番号（公開出願番号）：特開平7-324928
出願日： 1995年05月22日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 質量慣性により発生される力の作用がCMMの測定誤差の中で補正されることを可能にする補正処理方法を提供する。【構成】 測定スライダの位置と少なくとも測定スライダ加速度との関数としてCMMたわみ特性を表す補正値の形で記憶し、補正値により、次いで加工物を座標測定する際にCMMにより測定されたデータを補正する。

請求項（抜粋）：

測定された値(Px,Py,Pz)を、記憶されている補正値により数学的に処理し、補正値(DB)が、座標測定機の弾性的たわみ特性を表す、座標測定機を用いる加工物表面の座標測定方法においてたわみ特性を表すパラメータを、機械の測定領域(30)の中のいくつかのプローブ位置において求め、前記パラメータの加速度に依存する成分を求め、測定スライダ(22,23,24)の位置(Px,Py,Pz)と少なくとも測定スライダ加速度(ax,ay,az)との関数として座標測定機のたわみ特性を表す補正値(c11,c22)の形で記憶し、補正値により、次いで加工物を座標測定する際に座標測定機により測定されたデータ(Px,Py,Pz)を補正することを特徴とする加工物表面の座標測定方法。

IPC (3件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 5/004 ,  G01B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-178509
  
• 特開昭55-154408
  
• 特開昭63-182509
  
• 特表平1-503733