特許
J-GLOBAL ID：200903029155386618
X-Yステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332213
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155186
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 構成部品の熱膨張による寸法精度の狂い、更には構成部品の機械加工による形状誤差をも吸収できるX-Yステージ装置を提供する。【解決手段】 一対のガイドレール21、22の間に、ベース20の案内面に沿って移動可能に配置されたYスライダ23と、該Yスライダに、その延在方向に移動可能に組み合わされたXスライダ24とを含む。前記Yスライダと前記一対のガイドレールの案内面21a、22aとの間及び前記ベースの案内面との間にそれぞれ、静圧空気軸受けパッド25-1〜25-4及び27-1〜27-3を介在させ、前記Xスライダと前記ベースの案内面との間及び前記Yスライダとの間にもそれぞれ、静圧空気軸受けパッド25-5〜25-8及び27-4〜27-6を介在させた。
請求項（抜粋）：
軸受け案内面を有するベースと、該ベース上においてX軸あるいはY軸方向に延在するように固定され、互いに対向する案内面を持つ一対のガイドレールと、該一対のガイドレールの間に、前記案内面に沿って移動可能に配置された第1のスライダと、該第1のスライダに、その延在方向に移動可能に組み合わされた第2のスライダとを含み、前記第1のスライダと前記一対のガイドレールの前記案内面との間及び前記ベースの前記軸受け案内面との間にそれぞれ、第1、第2の静圧軸受け手段を介在させ、前記第2のスライダと前記ベースの前記軸受け案内面との間及び前記第1のスライダとの間にもそれぞれ、第3、第4の静圧軸受け手段を介在させたことを特徴とするX-Yステージ装置。
Fターム (5件)：
2F078CA08
, 2F078CB16
, 2F078CC02
, 2F078CC14
, 2F078CC16
