複屈折測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066071
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327498
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】試料の複屈折位相差、主軸方位、及び旋光角を同時に且つ個別に取得できる複屈折測定装置を提供する。【解決手段】複屈折測定装置は、光学システムOP及びデータ取得システムDSを備える。光学システムOPは、光源1による2周波直交直線偏光Lの夫々の偏光面の方位を基準方位に対して0度及び45度の方位に旋光させる旋光手段(半波長板3、回転機構3a,ドライバ3b)と、直線偏光子4を回転させる駆動手段(回転機構4a、ドライバ4b)とを要部に備える。データ取得システムDSは、直線偏光子4が回転している間の光検出器5の検出信号S0から光ビート成分に関する交流成分の正弦波信号及び余弦波信号を抽出する抽出手段(ロックインアンプ10)と、その両信号から試料3の複屈折位相差Δ、主軸方位φ、及び旋光角ψとを同時に且つ個別に演算する演算手段(演算装置12)とを要部に備える。

請求項（抜粋）：

2つの互いに異なる周波数成分を有し且つその2つの周波数成分が互いに直交する直線偏光となるレーザ光を発振する光源と、この光源によるレーザ光の2つの周波数成分を測定対象の試料を介して光学的に相互に干渉させる直線偏光子と、この直線偏光子による干渉後の光ビート成分を含む光信号を検出する光検出器とを含む光学システムを備えると共に、この光学システムによる上記光信号に基づいて上記試料の複屈折に関する情報を取得するデータ取得システムを備えた複屈折測定装置であって、上記光学システムは、上記試料に入射される前の上記レーザ光の2つの周波数成分の夫々における偏光面の方位を当該レーザ光の光軸を中心として定めた基準方位に対して2つの互いに45度異なる角度に切り換えて旋光させる旋光手段と、この旋光手段により旋光された当該2つの周波数成分の夫々が上記試料を介して入射される上記直線偏光子を上記光軸を中心として所定の周期で回転させる駆動手段とを備えると共に、上記データ取得システムは、上記駆動手段が当該直線偏光子を回転させている間における上記光検出器が検出する光信号から上記光ビート成分に関する交流成分の正弦波成分及び余弦波成分を抽出する信号抽出手段と、この信号抽出手段により抽出された正弦波成分及び余弦波成分に基づいて上記試料の少なくとも直線複屈折に関する複屈折位相差及び複屈折主軸方位と円複屈折に関する旋光角とを同時に演算するデータ演算手段とを備えたことを特徴とする複屈折測定装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 , G01J 4/04 , G01N 21/23 , H01S 3/00

FI (4件)：

G01M 11/00 T , G01J 4/04 D , G01N 21/23 , H01S 3/00 F

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