特許
J-GLOBAL ID：200903029157200228
容量型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-222592
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062248
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 回路構成が容易で分解能の高い容量型加速度センサを提供する。【構成】 可動電極の両側に固定電極を配置して2個の可変コンデンサC1 ,C2 を形成して加速度検出素子1を形成し、可変コンデンサC1 ,C2 の静電容量の差を容量差検出回路10により電圧出力として検出し、容量差検出信号10の出力に応じて可動電極を基準位置に拘束するための静電力を固定電極と可動電極間に静電力発生帰還手段15により印加すると共に、この静電力をセンサ出力として出力する静電サーボ方式の容量型加速度センサの可変コンデンサC2 側に、加速度に対応して変化する可変コンデンサC1 ,C2 の容量C1 ,C2 の差の最大値よりも大きな容量Cx を有する固定容量Cx を並列接続し、加速度の方向にかかわらず常にC2 +Cx がC1 よりも大きくなるようにする。
請求項（抜粋）：
2個の固定電極間に加速度に応じて変位する可動電極を配置して形成される2個の可変コンデンサを備えた加速度検出素子と、前記2個の可変コンデンサの静電容量の差を電圧出力として検出する容量差検出手段と、該容量差検出手段の出力に応じて前記可動電極を予め定められた基準位置に拘束するための静電力を前記固定電極と可動電極間に印加する静電力発生帰還手段とを有する静電サーボ方式の容量型加速度センサにおいて、加速度に対応して変化する前記可変コンデンサの静電容量差の最大値よりも大きな静電容量を有する固定容量を可変コンデンサのいずれか一方側に並列接続したことを特徴とする容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
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