特許

J-GLOBAL ID：200903029162526786

出力安定化第二高調波光源

発明者： 牧尾 諭 ,  宮井 剛 ,  古川 保典
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-034773
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232665
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 半導体レーザ励起固体レーザを用いた内部共振器型第二高調波発生装置において、光出力の安定なレーザ光源を実現する。【解決手段】 励起光源としての半導体レーザにより励起される固体レーザ結晶からの第一の放射光を発振させるレーザ共振器内に、前記第一の放射光の発振波長を制御するための波長制御素子と、前記レーザ共振器により発振され、前記第一の発振光を基本波として第二の発振光に波長変換する非線形光学結晶を有し、前記共振器から外部に出力される前記第二の発振波を一部分離する手段と、一部分離された前記第二の発振波の光強度を測定する受光素子からの電気信号の変化に対応して、前記半導体レーザの駆動電流を制御する手段とレーザ共振器全体の温度を制御する手段の少なくとも一つを設けた出力安定化第二高調波光源とする。

請求項（抜粋）：

励起光源としての半導体レーザにより励起される固体レーザ結晶からの第一の放射光を発振させるレーザ共振器内に、前記第一の放射光の発振波長を制御するための波長制御素子と、前記レーザ共振器により発振された第一の発振光を基本波として第二の発振光に波長変換する非線形光学結晶を有し、前記共振器から外部に出力される前記第二の発振波を一部分離する手段と、一部分離された前記第二の発振波の光強度を測定する受光素子からの電気信号の変化に対応して、前記半導体レーザの駆動電流を制御する手段とレーザ共振器全体の温度を制御する手段の少なくとも一つを設けたことを特徴とする出力安定化第二高調波光源。

IPC (5件)：

H01S 3/109 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/094 ,  H01S 3/13 ,  H01S 3/16

FI (5件)：

H01S 3/109 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/13 ,  H01S 3/16 ,  H01S 3/094 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-134091   出願人：株式会社日立製作所
• 固体レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-323698   出願人：株式会社日立製作所