特許
J-GLOBAL ID:200903029166134262
固体撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 国則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-165389
公開番号(公開出願番号):特開平5-335546
出願日: 1992年06月01日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 オーバーフロー時の信号をも利用することにより、入射光量に対するダイナミックレンジの大幅な拡大を可能とした固体撮像装置を提供する。【構成】 横型オーバーフロードレイン構造の固体撮像装置において、センサ部2及びOFCG部8にn型不純物を導入して電荷蓄積領域7を埋込みチャネルとするとともに、透明電極12に負の電圧(-E)を印加し、基板表面に正孔を蓄積するようにしてセンサ部2及びOFCG部8共にSiO2層10中の固定電荷の影響を打ち消すようにする。
請求項(抜粋):
入射光に応じて発生した電荷を蓄積するセンサ部と、前記センサ部に隣接してオーバーフローコントロールゲート部を介して形成されたオーバーフロードレイン部と、前記センサ部の入射側に配された透明電極とを備えた固体撮像装置において、前記センサ部及び前記オーバーフローコントロールゲート部に基板と逆導電型の不純物を導入し、前記透明電極に対して所定の極性の電圧を印加したことを特徴とする固体撮像装置。
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