特許

J-GLOBAL ID：200903029170261554

角速度センサ

発明者： 長谷川 友保 ,  持田 洋一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217265
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042970
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 振動発生部による振動力を片持梁の幅方向に対してバランスさせることにより、静止状態における洩れ出力を低減し、角速度の検出精度や信頼性等を向上する。【構成】 センサ本体11を形成した後、圧電体15によって静止状態で片持梁13を振動させ、片持梁13の変位量を左,右のピエゾ抵抗素子17からの検出信号の差分ΔV(=VL-VR)によって検査し、この検査結果に基づき、上側電極15Cをレーザ光源20によってトリミングすることにより、圧電体15の変形力(振動力)を片持梁13の幅方向たる左,右方向でバランスさせる切欠部18を設ける構成とした。これにより、圧電体15の変形力の微調整が行われ、静止状態において、片持梁13は左,右方向に傾くことなく上,下方向に振動する。

請求項（抜粋）：

基板と、基端側が該基板に固定され先端側が自由端となった片持梁と、該片持梁に設けられ、電極を介して伝達された制御信号により該片持梁を振動させる振動発生部と、前記片持梁の変位量を検出する変位量検出部とからなる角速度センサにおいて、前記振動発生部の電極には、該振動発生部による振動力を前記片持梁の幅方向に対してバランスさせる切欠部を設けたことを特徴とする角速度センサ。