特許
J-GLOBAL ID：200903029176785989
高圧ガス逆流防止弁
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241107
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079572
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 発塵がなくかつ応等特性の良好な高圧ガス逆流防止弁の提供。【構成】 インレットボデイ1に設けたインレット室14における弁座17の開閉を行うポペット3を、インレット室に設けたダイヤフラム11で行う。インレットボデイに直列に連結されたアウトレットボデイ2のアウトレット室24に前記ダイヤフラム11にロッド30を介して連結されたダイヤフラム21を設ける。ガス供給はインレット室の1次圧室12とアウトレット室の2次圧室22を連結するバイパスパイプ31経由で行う。ガス流路を遮るものはなく、ガス供給の応等性は良い。ダイヤフラム21の面積はダイヤフラム11よりも大きく、アウトレット側からの高圧ガスの逆流時、インレット側に動き、ポペット3で弁座17を塞ぎ高圧ガスの逆流を阻止する。ダイヤフラムは擦れず発塵がない。
請求項（抜粋）：
ダイヤフラムによって1次圧室と隔室とに区画されたインレット室を有するインレットボデイと、ダイヤフラムによって2次圧室と隔室とに区画されたアウトレット室を有しかつ前記インレットボデイの隔室側に直列に接続されたアウトレットボデイと、前記インレット室のダイヤフラムとアウトレット室のダイヤフラムを連結する摺動自在のロッドと、前記インレット室のダイヤフラムに固定されかつダイヤフラムの撓みによって前記1次圧室の弁座を塞ぐポペットと、前記インレット室の1次圧室とアウトレット室の2次圧室とを接続するバイパスパイプとを有し、前記アウトレット室はインレット室よりも広くなっていてアウトレット室のダイヤフラムはインレット室のダイヤフラムよりもその面積が広くなっていることを特徴とする高圧ガス逆流防止弁。
IPC (5件)：
F16K 15/06
, F16L 55/00
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/302
