特許

J-GLOBAL ID：200903029196340266

反応管着脱装置

発明者： 高島 義和
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331719
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172914
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】迅速で正確な反応管着脱を可能とする反応管着脱装置を提供する。【解決手段】半導体ウェーハに熱処理等を施す際に使用する反応管7の熱処理炉8への着脱に用いる反応管着脱装置において、熱処理炉8との関係位置を位置決めする位置決め機構19と反応管7を支持する支持機構17と支持機構17を昇降させる昇降機構18とが設けられた昇降機部20と、昇降機部20を積載し、昇降機部20の水平位置を調整する水平位置調整機構14と昇降機部20を固定する固定機構15と移動用車輪13とが設けられた台車部16とを含んでなる。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハに熱処理等を施す際に使用する反応管の熱処理炉への着脱に用いる反応管着脱装置において、上記熱処理炉との関係位置を位置決めする位置決め機構と上記反応管を支持する支持機構と上記支持機構を昇降させる昇降機構とが設けられた昇降機部と、上記昇降機部を積載し、上記昇降機部の水平位置を調整する水平位置調整機構と上記昇降機部を固定する固定機構と移動用車輪とが設けられた台車部と、を含んでなることを特徴とする反応管着脱装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  B66F 9/06 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/22 511 Q ,  B66F 9/06 A ,  H01L 21/205