特許
J-GLOBAL ID：200903029198547402
設備診断装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪股 祥晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262367
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120278
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は、設備の不良検出感度を上げて設備の異常検出が遅れることのない設備診断装置を提供することにある。【構成】本発明は、診断設備を構成する機器の動作時間を測定し、当該設備の診断を行う設備診断装置において、前記機器の動作時間を測定する測定装置と、前記動作時間から設備固有の判定時間を算出する判定装置と、前記設備固有の判定時間を記憶する第1記憶装置と、経験的に予め設定した機器の判定時間を記憶する第2記憶装置と、前記機器の動作時間が設備固有の判定時間および経験的に予め設定した機器の判定時間内に有る場合には当該機器の動作を正常と判定し、前記判定時間内に無い場合には当該機器の動作を異常と判定する判定装置を備えているので、設備の不良検出感度を上げることができる。
請求項（抜粋）：
診断設備を構成する機器のプロセス値を測定し、当該設備の診断を行う設備診断装置において、前記機器のプロセス値を測定する測定装置と、前記プロセス値から設備固有の判定プロセス値を算出する判定装置と、前記設備固有の判定プロセス値を記憶する第1記憶装置と、経験的に予め設定した機器の判定プロセス値を記憶する第2記憶装置と、前記機器の実測プロセス値が設備固有の判定プロセス値および経験的に予め設定した機器の判定プロセス値内に有る場合には当該機器の動作を正常と判定し、前記判定プロセス値内に無い場合には当該機器の動作を異常と判定する判定装置を備えたことを特徴とする設備診断装置。
IPC (2件)：
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