特許

J-GLOBAL ID：200903029205247711

スパッタ用ターゲット

発明者： 白川 享志
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182284
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065730
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】 印字品質と印字寿命のバランスを良好にし、長時間の使用に際して組成およびスパッタ膜の特性にほとんど変化を生じさせないこと。【構成】 ほぼ20mol%〜50mol%のCrNと、ほぼ50mol%〜80mol%のCr2 O3 を含有し、CrNとCr2 O3 の合計をほぼ90mol%〜100mol%とし、汎用の一般的スパッタ条件であっても、極めて良好な耐摩耗性を有する保護層が形成できるようにしたもの。

請求項（抜粋）：

ほぼ20mol%〜50mol%のCrNと、ほぼ50mol%〜80mol%のCr2 O3 を含有し、CrNとCr2 O3 の合計をほぼ90mol%〜100mol%としたことを特徴とするスパッタ用ターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-249175
  
• 特開昭63-114668
  
• 特開平1-286863