特許
J-GLOBAL ID：200903029212587234
アライメント調整方法及び装置、及びそれを備えたレーザー加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 渡邊 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-111542
公開番号（公開出願番号）：特開2009-262163
出願日： 2008年04月22日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】レーザー加工ヘッドの構成を複雑化することなく、確実にレーザーのアライメント調整を行うことができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】本発明は、液体噴流により導かれたレーザーにより被加工物を加工するレーザー加工装置(1)であって、液体を噴射して液柱を形成するジェットノズル(18)と、液柱内にレーザーを集光させるレーザー光学系(4)と、レーザーの焦点をジェットノズルの入口開口部に対する所定の目標焦点位置に位置合わせできるように、ジェットノズルとレーザーの焦点を相対的に移動させる相対移動機構(12)と、ジェットノズルから噴射された液柱及びレーザーを受ける透光板(20)と、この透光板を透過したレーザーが投射されるように配置され、投射されたレーザーの像に基づいて、レーザーの焦点を位置合わせするための受光部材(24)と、を有することを特徴としている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体噴流により導かれたレーザーにより被加工物を加工するレーザー加工装置であって、
液体を噴射して液柱を形成するジェットノズルと、
上記液柱内にレーザーを集光させるレーザー光学系と、
上記レーザーの焦点を上記ジェットノズルの入口開口部に対する所定の目標焦点位置に位置合わせできるように、上記ジェットノズルと上記レーザーの焦点を相対的に移動させる相対移動機構と、
上記ジェットノズルから噴射された液柱及びレーザーを受ける透光板と、
この透光板を透過したレーザーが投射されるように配置され、投射されたレーザーの像に基づいて、上記レーザーの焦点を位置合わせするための受光部材と、
を有することを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/04
, B23K 26/00
, B23K 26/14
B23K26/04 A
, B23K26/04 C
, B23K26/00 M
, B23K26/14 Z
4E068CA06
, 4E068CA11
, 4E068CC02
, 4E068CH08
, 4E068CJ07
