レーザ発振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289549
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111139
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】放電管内のレーザガス流を均一化することで、放電を安定化させ、大幅なレーザ出力の増大を実現できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。【解決手段】放電管とレーザガス導入部の間またはレーザガス導入部の放電管との接続部分近傍に配置されたオリフィスを備え、湾曲部を設けるか放電管に対して略直角に配置されたレーザガス流路に放電管内のレーザガスの流れる方向に対して同方向か逆方向に平行にレーザガスが流れる部分を設け、オリフィスをレーザガスの流れを阻害する部分とレーザガスを通す複数の穴から構成し、少なくとも前記穴の一つを中心からずらして配置し、オリフィスに設けられた複数の穴の面積を足し合わせた穴の総面積が放電管の断面積に対して0.5〜0.8の割合になる、あるいはオリフィスと複数の穴が共に円形で、かつオリフィスの半径よりも各穴の直径が小さいレーザ発振装置。

請求項（抜粋）：

内部にレーザガスを流すとともにレーザガスを励起させる放電管と、前記放電管に接続され、レーザガスを放電管へ導入するレーザガス導入部と、前記レーザガス導入部へレーザガスを供給するレーザガス流路と、前記放電管とレーザガス導入部の間またはレーザガス導入部の放電管との接続部分近傍に配置されたオリフィスを備え、前記レーザガス流路に前記放電管内のレーザガスの流れる方向に対して平行にレーザガスが流れる部分を設け、前記オリフィスをレーザガスの流れを阻害する部分とレーザガスを通す複数の穴から構成し、少なくとも前記穴の一つを中心からずらして配置したレーザ発振装置。

Fターム (3件)：

5F071EE02 , 5F071JJ04 , 5F071JJ05

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-196879
特開昭61-256780
特開昭55-121691

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審査官引用 (4件)

特開昭62-196879
特開昭61-256780
特開昭55-121691

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