特許
J-GLOBAL ID：200903029226423056
投影レンズ及び走査型露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082625
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258498
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 投影光学系の照明光吸収による異方性結像特性の変化を抑制して露光精度を向上させる。【解決手段】 所定形状の照明光ILで照射されたときにその照明光の吸収により生じる変動を考慮して投影光学系PLの非走査方向(X方向)と走査方向(Y方向)の結像特性が異なるように初期調整されている。このため、露光中に投影光学系PLが照明光を吸収した際に生じる非走査方向と走査方向についての異方性の結像特性の変化量が、非走査方向と走査方向の結像特性が異なるように初期調整されていない投影光学系を用いる場合に比べて抑制することができ、結果的に露光精度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
第1物体の像を第2物体に投影する投影レンズであって、その光軸に直交する第1方向と前記光軸及び前記第1方向に直交する第2方向とで結像特性が異なるように初期調整されたことを特徴とする投影レンズ。
IPC (4件)：
G02B 13/00
, G02B 7/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 13/00
, G02B 7/02 C
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
