特許

J-GLOBAL ID：200903029227353531

露光装置及び露光方法

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-293920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109601
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 微細パターンの光コントラストの像を転写できる露光装置及び露光方法を提供する。【構成】 光源1からの照明光は、楕円鏡2、ミラー3、集光レンズ4、オプチカルインテグレーター5を介して偏光板6に入射する。偏光板6は支持具7により支持され、光軸Axあるいはそれと平行な軸を中心として回転可能になっており、透過光束の偏光方向を任意に設定できる。照明光は偏光板6によって、フォトマスク11のラインアンドスペースパターンの長手方向と平行な方向に振動する直線偏光に変換され、コンデンサーレンズ8,9、ミラー9に導かれてマスク11下面のパターン12を照明する。マスク11からの透過、回折光は投影光学系13によって集光結像され、ウエハ14上にマスクパターン12の像を結ぶ。

請求項（抜粋）：

フォトマスクを照明する照明光学系を有する露光装置において、前記フォトマスクへの照明光束の偏光状態を制御する偏光部材を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 P ,  H01L 21/30 311 W

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-227512
  
• 特開平2-232917
  
• 特開平3-225914
  
• 特開平1-143216
  
• 特開平1-220825