サンプル表面の形状的特徴を調べる装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂口博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-108912
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311841
出願日： 1998年04月20日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡で作成された測定値の精度を改善する方法を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡10は、比較的小さい範囲の運動を有する高速アクチュエータ22で発生するたわみと、比較的大きい範囲の運動を有する低速アクチュエータ26で発生するたわみとの組み合わせによって、サンプル表面に対し係合および離反して動くプローブ18を有している。高速アクチュエータのたわみが、所定の範囲外に動くと、低速アクチュエータは、高速アクチュエータの次の動作が、高速アクチュエータを所定範囲に戻すように動作する。低速アクチュエータをこのように動作させることが必要な場合には、サンプル表面をプローブを通過するように移動させる走査運動を、プローブがサンプル表面との正しい係合レベルにもたらされるまで停止し、高速アクチュエータが、所定の範囲内でたわむようにする。

請求項（抜粋）：

サンプル表面の形状的特徴を調べる装置において、前記サンプル表面に垂直な係合方向に、前記サンプル表面と係合するように動く鋭い先端を有するプローブを備え、前記プローブでの物理的パラメータを測定するプローブ検出器を備え、前記物理的パラメータは、前記プローブと前記サンプル表面との接触状態を表しており、前記プローブ検出器からの出力に応じて、前記係合方向およびそれとは反対方向に、前記プローブを移動して、前記プローブと前記サンプル表面との接触状態を、第1の所定の範囲に保つ第1の駆動手段を備え、第2の所定の運動範囲を越える、前記第1の駆動手段の動きに応じて、前記係合方向およびそれとは反対方向に、前記プローブを移動する第2の駆動手段を備え、前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段とは、互いにおよび前記プローブに接続され、前記プローブの動きは、前記第1および第2の駆動手段の動きの総和に従って発生し、前記サンプル表面に平行な走査方向の、前記サンプル表面と前記鋭い先端との間の相対運動を発生する横方向運動手段を備え、この横方向運動手段は、前記第1の駆動手段が、前記第2の所定の運動範囲内にある場合にのみ、前記相対運動を発生する、ことを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z

引用特許：

出願人引用 (13件)

特公平8-014481
特開平3-180702
特開平4-318404

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