特許
J-GLOBAL ID：200903029234204029
半導体集積装置リードの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003082
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187846
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】 ICリードに接触しないでこれを検査するICリードの検査装置を提供する。【構成】 ICリードの屈曲変形を検出するための画像を形成するレーザ・スリット平行光源および画像取込み用カメラをX-Y-θアームに具備せしめ、ICをトレイ上面に載置収容したままそのリードを検査する検査装置を構成した。
請求項（抜粋）：
トレイ上面に載置収容された半導体集積装置のリードの屈曲変形を検出するための画像を形成するレーザ・スリット平行光源および画像取込み用カメラをX-Y-θアームに具備せしめたことを特徴とする半導体集積装置リードの検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 23/50
