特許

J-GLOBAL ID：200903029234713128

デバイス製造支援装置、デバイス製造システム、及びデバイス製造方法

発明者： 安川 浩司 ,  菊池 薫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-359853
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265841
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【目的】 デバイス製造ラインを管理するホストコンピュータと製造装置との間に設けられる情報の支援装置の基本構成を変えることなく、各種のホストコンピュータや装置に対応できるようにする。【構成】 情報の支援装置は、ホスト側と製造装置側との間で情報伝達するプログラム部分をユニット化するとともに、テキスト構造として扱えるように定義ファイルを用意する。

請求項（抜粋）：

半導体素子、液晶素子等のデバイスを製造するためのリソグラフィ工程に設置された露光装置を、前記デバイス製造工程を統括的に管理する生産管理用のホスト計算機のもとで運用するために、前記露光装置と前記ホスト計算機との間の情報伝達を支援する装置において、前記ホスト計算機との間で、規格化された方式の通信回線を介して相互に情報伝達を行うホスト通信手段と;該ホスト通信手段で受けた露光装置の作業内容情報を解析し、前記露光装置の動作条件、動作タイミング及び装置パラメータ等を含むコマンドの集合情報を設定するシーケンス制御手段と;該コマンド集合情報を前記露光装置側の規格に変更して前記露光装置へ送信する装置通信手段とを備え;前記ホスト通信手段は前記作業内容情報をテキスト構造として扱うための第1のテキスト定義ファイルを有し、前記装置通信手段は前記コマンド集合情報をテキスト構造として扱うための第2のテキスト定義ファイルを有し;前記第1、及び第2のテキスト定義ファイルの夫々を前記ホスト計算機と前記露光装置の夫々の規格に合わせて修正することにより、前記ホスト計算機、又は前記露光装置の固有のプログラムに準拠して前記ホスト通信手段と前記装置通信手段の各プログラム体系を構築することなく、各種の支援に対応可能としたことを特徴とするデバイス製造支援装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-271754
  
• 特開平2-143512
  
• 特開昭63-166211
  
• 特開昭64-138732