特許
J-GLOBAL ID：200903029235334740
x-y-θ微動ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094780
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 金属顕微鏡、走査型電子顕微鏡等の計測装置における測定対象物の移動装置として、小型軽量で、かつ構造が単純で、x軸、y軸、θ軸方向に10分の数ミクロン単位で位置決め可能なx-y-θ微動ステージを考案する。【構成】 可動テーブル9の駆動源として3極または4極の円筒型圧電素子6を用い、本圧電素子にパルス状電圧を印可することにより生ずる素子上端面の伸縮および屈曲運動を利用し、可動テーブルを移動するものである。また、本運動はその変位量が小さいため、円筒型圧電素子上端面に正三角形の変位拡大機構8を接合し、変位量の拡大を図っている。さらに、可動テーブルと変位拡大機構上面の摩擦力の影響を低減するため変位拡大機構上面に円錐上突起を接合し、その上に可動テーブルを搭載している。可動テーブルは、本円錐上突起の振動モードの差異により前後、左右、あるいは回転方向に駆動される。
請求項（抜粋）：
金属顕微鏡、走査型電子顕微鏡等の計測装置において、測定対象物の測定領域の変更とか希望する視野を確保するため、測定対象物を搭載しているテーブルを広範囲かつ微小変位のもとに位置決めできるx-y-θ微動ステージである。本ステージは、ステンレス製基板に3極または4極の円筒型圧電素子を固定用治具で固定し、圧電素子上端面に三角形状に配置した変位拡大機構を取り付け、変位拡大機構上面に接合されている円錐状突起の振動モードの差異により、その上に搭載されているテーブルを前後、左右、および回転方向に駆動できるものである。本ステージは、3極または4極の電極から成る1個の円筒型圧電素子にパルス状電圧を印加し、各電極に印可する電圧パターンを変更することにより、テーブルを前後、左右、および回転方向に駆動することが可能であり、パルス状電圧の周波数の変更により駆動速度の調整が可能であることを特徴としている。。また、印加電圧1パルス当たりのテーブルの移動量は10分の数ミクロン程度とすることが可能であり、可動テーブルの微動を可能とすることを特徴とするx-y-θ微動ステージである。
IPC (3件)：
G12B 5/00
, G01B 11/00
, G02B 21/26
