特許

J-GLOBAL ID：200903029237162831

ライン状光ビーム発生装置及びレーザ顕微鏡

発明者： 粟村 大吉
出願人/特許権者： 大倉インダストリー株式会社
代理人 (1件)： 杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-291650
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062421
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】製造コストが安価でコンパクトな構造のレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明では、半導体レーザ(1)から発生したレーザビームをマイクロミラー装置(5)により一方向に発散性を有する線状ビームに変換する。マイクロミラー装置(5)は、2次元アレイ状に配置された複数のマイクロミラーを有し、駆動パルスにより各マイクロミラーを高速で振動させる。各マイクロミラーはヒンジにより可動自在に支持されているので、駆動パルスにより発生する静電引力によりミラー面が曲面状に変位する。この曲面状の変位により、各マイクロミラーはシリンドリカルミラーと同様に作用し、入射したレーザビームを一方向に発散する非コヒーレント光ビームに変換する。この発散性ビームは、ビーム偏向装置(12)及び対物レンズ(15)を介して試料に投射し、試料からの反射光をリニァイメージセンサ(19)に入射させる。マイクロミラー装置は、コストが比較的安価であると共に比較的大きな発散角が得られるので、製造コストが安価でコンパクトな構造のレーザ顕微鏡を実現することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザビームを発生するレーザ光源と、複数のマイクロミラーを有し、各マイクロミラーのミラー面が駆動信号に応じて一方向に変形するマイクロミラー装置と、各マイクロミラーに所定の周波数の駆動信号を供給するマイクロミラー装置駆動回路とを具え、 各マイクロミラーは、前記マイクロミラー装置駆動回路から供給される駆動信号により、全体としてほぼ一方向に変形するシリンドリカルミラーとして動作し、前記マイクロミラー装置は入射したレーザビームを主として第1の方向に発散する発散性光ビームとして出射させることを特徴とするライン状光ビーム発生装置。

IPC (3件)：

G02B27/09 ,  G02B21/00 ,  G02B21/06

FI (3件)：

G02B27/00 E ,  G02B21/00 ,  G02B21/06

Fターム (6件)：

2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC16 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レーザ走査顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-132457   出願人：小池精機株式会社