特許
J-GLOBAL ID：200903029237269288
ウェーハストッカ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285610
公開番号（公開出願番号）：特開平7-117812
出願日： 1993年10月21日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：
【要約】【目的】半導体製造設備に於ける待機中のウェーハの自然酸化を防止する。【構成】ウェーハ23が装填されるウェーハカセット16と、少なくとも1バッチ分のウェーハカセットを収納するカセットストッカ2と、ウェーハ収納管5と、該ウェーハ収納管に気密に装入され少なくとも1バッチ分のウェーハ又はウェーハカセットを保持するボート27と、該ボートを前記ウェーハ収納管に対して装入引出しするボートエレベータ4と、外部搬送装置と前記カセットストッカに対してウェーハカセットを授受するカセット授受装置1と、前記カセットストッカと前記ボート間でウェーハ又はウェーハカセットの移載を行うウェーハ移載機3とを具備し、ウェーハ単体で、或はウェーハカセットごとウェーハ収納管内に装入され外気と遮断された状態で保管され、ウェーハの自然酸化が防止される。
請求項（抜粋）：
ウェーハが装填されるウェーハカセットと、少なくとも1バッチ分のウェーハカセットを収納するカセットストッカと、ウェーハ収納管と、該ウェーハ収納管に気密に装入され少なくとも1バッチ分のウェーハを保持するボートと、該ボートを前記ウェーハ収納管に対して装入引出しするボートエレベータと、外部搬送装置と前記カセットストッカに対してウェーハカセットを授受するカセット授受装置と、前記カセットストッカと前記ボート間でウェーハの移載を行うウェーハ移載機とを具備したことを特徴とするウェーハストッカ。
IPC (4件)：
B65G 1/00 539
, B65G 1/00 521
, B65G 49/07
, H01L 21/68
