特許
J-GLOBAL ID：200903029238471625
熱型赤外線検出素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296745
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116616
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 製造工程を簡略化できると共に、赤外線吸収量を向上できるような熱型赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 赤外線を受光して抵抗値が変化する熱抵抗変化膜3と、上記熱抵抗変化膜3に電気的に接続されると共に、集積回路が形成された半導体基板7内の端子部と電気的に接続される配線金属膜6とを少なくとも含む。配線金属膜6は、赤外線を反射する赤外線反射膜からなる。
請求項（抜粋）：
赤外線を受光して抵抗値が変化する熱抵抗変化膜と、上記熱抵抗変化膜に電気的に接続されると共に、集積回路が形成された基板内の端子部と電気的に接続される配線金属膜とを少なくとも含むダイアフラム構造体を有し、上記配線金属膜は、赤外線を反射する赤外線反射膜からなることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
Fターム (4件)：
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065CA13
