特許

J-GLOBAL ID：200903029247222093

半導体装置及びその作製方法

発明者： 山崎 舜平 ,  荒井 康行
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-142027
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053285
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 結晶粒の位置とその大きさを制御した結晶質半導体膜を作製し、さらにその結晶質半導体膜をTFTのチャネル形成領域に用いることにより高速動作が可能なTFTを実現することを目的とする。【解決手段】 基板1の主表面に密接して透光性と絶縁性を有する熱伝導層2を設け、その熱伝導層上の選択された領域に、島状またはストライプ状に形成した第1の絶縁層3を形成する。この上に第2の絶縁層4、半導体膜5を積層させる。最初、半導体膜5は非晶質半導体膜で形成され、レーザーアニールにより結晶化させる。第1の絶縁層3は熱伝導層2への熱の流出速度を制御する機能を有し、基板1上の温度分布の差を利用して第1の絶縁層3上に単結晶半導体膜を形成する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の主表面に密接して形成された熱伝導率が10Wm-1K-1以上であり透光性を有する熱伝導層と、前記熱伝導層上の所定の位置に所定の形状で設けられた熱伝導率が10Wm-1K-1未満の第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層上に選択的に形成され、水素が添加された単一の結晶粒から成る半導体膜とを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20

FI (6件)：

H01L 29/78 627 G ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 627 E

Fターム (112件)：

2H092GA59 ,  2H092HA01 ,  2H092JA25 ,  2H092JB42 ,  2H092KA04 ,  2H092MA30 ,  5C094AA51 ,  5C094AA60 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094EA04 ,  5C094HA05 ,  5C094HA08 ,  5C094HA10 ,  5F052AA02 ,  5F052DA02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA12 ,  5F052EA15 ,  5F052JA01 ,  5F110AA01 ,  5F110AA09 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB10 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD07 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE08 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE27 ,  5F110EE28 ,  5F110EE36 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG13 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG51 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HM12 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN01 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110NN78 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP23 ,  5F110PP24 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25 ,  5F110QQ28