特許
J-GLOBAL ID：200903029257403401
光ビーム走査光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050344
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265807
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 光ビーム走査光学系の第2の結像光学系の省部品化を図るとともに、高解像度の画像露光を実現する。【構成】 光源1からの光ビーム23を反射させて偏向し走査を行う偏向手段4と、この偏向手段4の前後に配設され、かつ偏向手段以前に収束されている光ビーム23を前記偏向手段4を介し被走査面上6に結像させる第1、第2の結像光学系2、5とを備え、前記第2の結像光学系5が、偏向手段側にトーリック面、被走査面側に4次以上の高次展開項を有するトーリック非球面または非円柱面からなる補正レンズ5を有している。
請求項（抜粋）：
光源からの光ビームを反射させて偏向し走査を行う偏向手段と、この偏向手段の前後に配設され、かつ偏向手段以前に収束されている光ビームを前記偏向手段を介し被走査面上に結像させる第1、第2の結像光学系とを備えた光ビーム走査光学系であって、前記第2の結像光学系が、副走査方向の焦点距離が主走査方向における中心部と周辺部で変化し、偏向手段側の面が光軸上の点を中心とし主走査方向に平行で光軸を含む面内に存在する曲線を、前記光軸を含む面内に存在する主走査方向に平行な回転対称軸を中心として回転させたトーリック面で、被走査面側の面が主走査方向に対して4次以上の高次展開項を有するトーリック非球面または非円柱面である補正レンズを有し、前記補正レンズが光軸上で、主走査方向に偏向手段側からR1、R4の曲率半径をもち、副走査方向に偏向手段側からR3、R5の曲率半径を有し、|R4|<|R1|なる関係を有することを特徴とする光ビーム走査光学系。
IPC (4件)：
G02B 26/10 103
, G02B 26/10
, G02B 13/00
, G02B 13/18
