特許

J-GLOBAL ID：200903029265052405

走査型露光装置

発明者： 森 晋 ,  間 潤治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-214505
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064782
出願日： 1996年08月14日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 小型の投影光学系を用いて効率よく大面積の感光基板に露光を行うことができる露光装置を提供する。【解決手段】 マスク10と感光基板14とを同期させて走査露光する走査型露光装置に、感光基板とマスクを走査露光のための走査方向(X方向)にほぼ直交するY方向に移動させる移動手段16Y,18Yを設けた。感光基板とマスクをY方向に移動して走査露光することで、マスクに形成された大面積のパターン10aをY方向に分割して感光基板上の隣接する領域につなぎ合わせて露光することができ、小型の投影光学系を用いても大きなパターンを露光することができる。また、感光基板のみのY方向への移動と、走査露光とを反復することで、1つのマスクパターンを大面積の感光基板上の複数の領域に露光することが可能となり、走査型露光装置のスループットを向上できる。

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを所定の照明領域で照明する照明光学系と、前記マスクのパターンを透過した光束を実質的に等倍かつ正立実像結像で感光基板上に投影する投影光学系と、前記照明領域に対して第1の方向に前記マスクと前記感光基板とを同期させて走査する走査手段と、少なくとも前記感光基板を前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向に、少なくとも前記照明領域の前記第2の方向の長さに相当する距離だけ移動させる移動手段とを備えることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 B