特許

J-GLOBAL ID：200903029265686862

熱処理装置

発明者： 大加瀬 亘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-219050
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058046
出願日： 1993年08月11日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 コストの上昇を招くことなく熱的特性を自由に変更することができる構造を備えた熱処理装置を提供すること。【構成】 プロセスチューブ10の周囲に配置された断熱材34は、リング状断熱ピース材34Aを積載して構成されている。そして、リング状断熱ピース材は、上下に隣接する2つのリング状断熱ピース材間に発熱抵抗体を収容し、さらにプロセスチューブと対向する領域に輻射熱を出射するための開口を備えている。このため、縦方向での温度分布を変更するような場合には、ピース材34Aの大きさあるいは内径を異ならせることで対処することができるので、装置自体の交換などの手間を要しない。

請求項（抜粋）：

縦型プロセスチューブの周囲に、リング状または螺旋状の発熱抵抗体を筒状断熱材により支持して配置した熱処理装置であって、上記筒状断熱材は、縦方向に積載される複数のリング状断熱ピース材から構成され、上下にて隣接する2つの上記リング状断熱ピース材間には、上記発熱抵抗体を収容する収容部が周方向にそって形成され、この収容部は上記縦型プロセスチューブと対向する領域に開口を有することを特徴とする熱処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  C21D 1/00 111 ,  F27D 11/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324