特許
J-GLOBAL ID：200903029265993552
金属材表面酸化物の測定方法およびX線回折装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-098665
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281175
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 金属材表面の酸化物の組成と量を正確に測定することが可能な金属材表面酸化物の測定方法およびX線回折装置の提供。【解決手段】 表面の上層、下層にそれぞれ酸化物A、酸化物Bを有する金属材にX線を照射し酸化物A、酸化物Bの回折X線強度IA 、IB を測定し、回折X線強度IA と予め求めた検量線から、酸化物Aの存在量WA を求め、酸化物Aによる回折X線吸収率で補正した酸化物Bの回折X線強度:IB.com と予め求めた検量線から、酸化物Bの存在量WB を求める金属材表面酸化物の測定方法およびX線回折装置。
請求項（抜粋）：
表面酸化物層上層として酸化物Aを有し、表面酸化物層下層として酸化物Bを有する金属材に特性X線または単色化したX線を照射し、前記金属材から放射される酸化物Aの回折X線強度IA および酸化物Bの回折X線強度IB を測定し、酸化物Aの回折X線強度IA と予め求めた検量線とから、表面酸化物層上層の酸化物Aの存在量WA を求め、さらに、酸化物Bの回折X線強度IB を上層の酸化物Aによる回折X線吸収率で補正し酸化物Bの回折X線強度IB.com を求め、該IB.com と予め求めた検量線とから、表面酸化物層下層の酸化物Bの存在量WB を求めることを特徴とする金属材表面酸化物の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 23/20
, C23G 3/00
, G01N 23/223
G01N 23/20
, C23G 3/00 Z
, G01N 23/223
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA15
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA09
, 2G001FA02
, 2G001FA06
, 2G001FA14
, 2G001GA01
, 2G001GA03
, 2G001GA06
, 2G001GA07
, 2G001GA13
, 2G001JA09
, 2G001JA15
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001NA17
, 2G001NA18
, 4K053PA02
, 4K053PA12
, 4K053QA01
, 4K053RA07
, 4K053SA05
, 4K053TA03
, 4K053TA16
, 4K053TA18
, 4K053XA50
, 4K053YA23
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
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