特許
J-GLOBAL ID：200903029266045755
スライド位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-336207
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139563
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【構成】 スライド軸4に4条のガイド溝6を設け、ガイド溝6の部分を除くように磁性マーク8を所定のピッチで設ける。1次コイルと2次コイルとを交互に配列し、磁性マーク8の位置により1次コイルと2次コイルとの磁気結合が変化することを用いて、スライド軸4のスライド位置を検出する。【効果】 スライド軸をリニアガイドなどで予圧してガイドできるので、スライド軸のスライドが滑らかになる。
請求項（抜粋）：
スライド軸の表面に所定のパターンで、該表面とは磁気的性質が異なる磁性マークを設け、該磁性マークと対向する検出コイルを用いて、スライド軸のスライド位置を検出するようにした装置において、スライド軸の軸方向に沿って複数のガイド溝を設けると共に、前記磁性マークをガイド溝の部分を除いて設けるようにしたことを特徴とする、スライド位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01D 5/245 E
, H01L 21/52 F
2F077CC02
, 2F077FF02
, 2F077FF03
, 2F077FF12
, 2F077FF31
, 2F077NN06
, 2F077NN19
, 2F077PP06
, 2F077QQ05
, 2F077QQ06
, 2F077VV02
, 5F047FA08
, 5F047FA73
