電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263200
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084936
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡等電子ビームやイオンビームのアライメントやスティグマ(非点)調整に係わるビーム障害を容易に解決する技術に関する。【解決手段】偏向器等の環状鉄心に低抵抗ショートコイルを備え、当該ショートコイルを偏向コイルの負荷として使用しビーム障害の改善を図る。【効果】電子顕微鏡等の装置においてビーム障害が容易に解決可能になる。

請求項（抜粋）：

電子銃、照射系レンズ、結像系レンズ、光軸調整用電磁偏向器、非点補正用電磁補正器、等から構成される電子顕微鏡において、電磁偏向器、および、電磁非点補正器に閉巻き線式ショートコイルを1つ以上装備したことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/147 , H01J 37/141 , H01J 37/153

FI (3件)：

H01J 37/147 A , H01J 37/141 A , H01J 37/153 A

Fターム (3件)：

5C033DD01 , 5C033EE02 , 5C033GG01

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-193446
特開昭53-129575

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