特許

J-GLOBAL ID：200903029270392192

樹脂マイクロレンズの製造方法

発明者： 臼井 博明 ,  田村 弘基 ,  平本 廣幸
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156918
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353511
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 従来の受発光素子基板上への樹脂マイクロレンズの製造方法では半球状に満たない凸レンズしか製造できず、収束力が不足して光量の利用効率が極めて低いという問題点を生じていた。【解決手段】 本発明により溶融と硬化とを光反応性熱硬化樹脂によるレジスト膜2よりも適宜に比重の軽い液体23中で、且つ、受発光部10aを下向きとする状態で行う樹脂マイクロレンズの製造方法とし、加えて、受発光部10aの周縁には溶融した状態のレジスト膜2に対し撥水性を有する部材で形成された略リング状の撥液(水)部1を設けることで、ほぼ真球状のマイクロレンズを正確に受発光部10aに設けることを可能とし課題を解決するものである。

請求項（抜粋）：

受発光素子基板の受発光部上に光反応性熱硬化樹脂の適量をホトリソ手段により付着させ、この光反応性熱硬化樹脂を加熱することで一旦溶融させて表面張力によりレンズ形状を得、更に加熱を継続することで前記レンズ形状を保ち硬化させて成る樹脂マイクロレンズの製造方法において、前記溶融と硬化とを前記光反応性熱硬化樹脂よりも適宜に比重の軽い液体中で、且つ、前記受発光部を下向きとする状態で行うことを特徴とする樹脂マイクロレンズの製造方法。

IPC (5件)：

H01L 33/00 ,  G02B 3/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335

FI (6件)：

H01L 33/00 M ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D

Fターム (13件)：

4M118AA10 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX24 ,  5C024EX43 ,  5F041AA06 ,  5F041CA73 ,  5F041EE11 ,  5F088EA02 ,  5F088EA20 ,  5F088JA12