特許
J-GLOBAL ID：200903029277439275
多段式熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078779
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267839
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 基板の熱処理の精度を維持しつつ、熱排気を改善してケーシングの温度を基準以下に押え、作業の安全を確保する。【構成】 ケーシング10の最下段に冷却ユニット4を配置し、最上部の排気口11aから排気する。ケーシング10内には下方から上方に向かう気流が形成されるので、熱排気が効率よく行なえるとともに、下方の低温の排気G3が上方に流れて加熱ユニット3の排気G2を冷却するので、上方の加熱ユニット2は排気G2の熱の影響を受けない。
請求項（抜粋）：
基板を熱処理する加熱ユニットを複数台垂直方向に配設して、ケーシング内に収納した多段式熱処理装置において、前記ケーシングの下部に設けられた冷却手段と、前記ケーシングの上部に設けられた排気口と、前記排気口に接続され、前記ケーシング内の気体を排気する排気手段と、を備え、前記排気手段により前記ケーシング内に下方から上方に向かう気流を形成するようにしたことを特徴とする多段式熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 501
, G03F 7/26
, H01L 21/324
